Bearings for Equipment
各種装置用軸受

ジェイテクトグループの製品は、半導体製造に関わるあらゆる機械に使用されています。
高精度、耐食性などを兼ね揃えた製品で、半導体製造をサポートします。
前工程
PRETREATMENT PROCESS
前工程
PRETREATMENT PROCESS
①フォトレジスト塗布
Photoresist Coating
②ウェハの切り出し
Cutting the Ingot
③ウェハの研磨
Wafer Polishing
後工程へ
ASSEMBLY AND TESTING PROCESS
ウェハ製造工程WAFER MANUFACTURING PROCESS
CMP装置
CMP Equipment
耐食性、クリーン環境対応軸受
研磨具回転部と腐食液に接する部位では異なるタイプが採用されます
コロガードプロ
ベアリング®-SCHigh Corrosion Resistant Ceramic Bearings
極限の腐食環境に。強酸にも腐食されにくい炭化けい素セラミックスを用いています
詳しくはこちら
LEARN MORE
コロガード
プロベアリング®-AZCorrosion Resistant Combined Ceramic Bearings-AZ
厳しい腐食環境下で使用する特殊環境用軸受として開発、耐食軸受シリーズとして展開中の『コロガードプロベアリング®』シリーズに新たにラインナップしました
詳しくはこちら
LEARN MORE
EXSEV🄬-EXEXSEV🄬-EX
グリースの潤滑性をクリーン・真空用途にふっ素系EXSEV®-EX(グリース)を封入しクリーン環境、真空環境に対応します
詳しくはこちら
LEARN MORE
ウェハ熱処理HEAT TREATMENT SYSTEM
熱処理成膜装置
Thermal Processing Film Formation Equipment
高温下でも潤滑可能な特殊仕様軸受
クリーンプロ🄬-RBHigh Temperature Clean Pro Bearings
260℃クリーン、真空対応
軸受の転がり面に耐熱性のあるふっ素高分子被膜をコーティングすることで高温での使用を実現します
詳しくはこちら
learn more
EXSEV🄬-PNEXSEV🄬-PN
300℃対応の優れた耐熱性
耐熱性の固体潤滑剤によって高温真空環境に適応
詳しくはこちら
learn more
EXSEV🄬-WSEXSEV🄬-WS
耐熱 350℃と耐荷重性を両立
耐熱性・耐荷重性が要求される真空環境に適応します
詳しくはこちら
LEARN MORE
成膜工程FILM FORMING PROCESS
フォトレジスト塗布装置
Photoresist Coating Equipment
クリーン環境でのグリース潤滑軸受
EXSEV🄬-EXEXSEV🄬-EX
グリースの潤滑性をクリーン・真空用途にふっ素系EXSEV®-EX(グリース)を封入しクリーン環境、真空環境に対応します
詳しくはこちら
LEARN MORE
露光装置
Photoresist Coating Equipment
クリーン仕様や、非磁性材料であるセラミックスを採用した軸受で対応します
Newクリーンプロ🄬-PRClean Pro Bearings
クリーンルーム、真空機器などにふっ素高分子被膜による潤滑で低発じん・低アウトガスを実現します
詳しくはこちら
LEARN MORE
組合せセラミック軸受Hybrid Ceramic Bearings
絶縁、高速用途に転動体の質量が軽くなり、高速回転用途にも適します
組合せセラミック軸受
詳しくはこちら
LEARN MORE
非磁性組合せセラミック軸受
詳しくはこちら
LEARN MORE
コロガードプロ
ベアリング®-AZCorrosion Resistant Combined Ceramic Bearings-AZ
レーザー発振器内の特殊ガスに耐食性のある特殊環境用軸受
詳しくはこちら
LEARN MORE
エッチング装置
Exposure Equipment
耐食性に優れたセラミックスやステンレス鋼を採用した軸受で対応します
コロガードプロ
ベアリング®-MDCorrosion Resistant Hybrid Ceramic Bearings
塩水、薬液などの環境に耐食性に優れ、クリーン・真空環境にも適応
詳しくはこちら
LEARN MORE
組合せセラミック軸受Hybrid Ceramic Bearings
絶縁、高速用途に転動体の質量が軽くなり、高速回転用途にも適します
詳しくはこちら
LEARN MORE
ターボ分子ポンプ用
タッチダウン軸受Touchdown Bearing for Turbo Molecular Pump
緊急停止時(タッチダウン)の急加速にオイルレスで耐久性を確保します
お問合せ
CONTACT US
洗浄機
Cleaning Equipment
耐食性に優れたセラミックスやステンレス鋼を採用した軸受で対応します
コロガードプロ
ベアリング®-MDCorrosion Resistant Hybrid Ceramic Bearings
塩水、薬液などの環境に耐食性に優れ、クリーン・真空環境にも適応
詳しくはこちら
LEARN MORE
イオン注入装置
Ion Injection/ Sputtering Equipment
真空中で不純物の発生が少ないクリーンな軸受です
EXSEV🄬-EXEXSEV🄬-EX
グリースの潤滑性をクリーン・真空用途にふっ素系EXSEV®-EX(グリース)を封入しクリーン環境、真空環境に対応します
詳しくはこちら
LEARN MORE
Newクリーンプロ🄬-PRClean Pro Bearings
クリーンルーム、真空機器などにふっ素高分子被膜による潤滑で低発じん・低アウトガスを実現します
詳しくはこちら
LEARN MORE
クリーンプロ🄬-RBHigh Temperature Clean Pro Bearings
260℃クリーン、真空対応
軸受の転がり面に耐熱性のあるふっ素高分子被膜をコーティングすることで高温での使用を実現します
詳しくはこちら
LEARN MORE
EXSEV🄬-MOEXSEV🄬-MO
300℃対応の基本仕様
二硫化モリブデンによる固体潤滑で高温環境に適応
詳しくはこちら
LEARN MORE
EXSEV🄬-PNEXSEV🄬-PN
300℃対応の優れた耐熱性
耐熱性の固体潤滑剤によって高温真空環境に適応
詳しくはこちら
LEARN MORE
電極形成装置
Electrode Formation Equipment
セラミック軸受で高温・真空環境に対応します
総玉形セラミック軸受Full Complement Ceramic Ball Bearings
超高温 800℃
総セラミックによって高温対応だけでなく、耐食、非磁性・絶縁・真空へ適応
詳しくはこちら
LEARN MORE
セラミック軸受Ceramic Bearings
軸受の材料にセラミックス(窒化けい素)を用い、ふっ素高分子によって潤滑します。おもに真空・腐食性環境などに用います。
詳しくはこちら
LEARN MORE
検査装置
Inspection Equipment
検査に影響しない、非磁性の軸受が使用されます
非磁性組合せセラミック軸受Non-magnetic Hybrid Ceramic Bearings
ステンレスの非磁性対応
非磁性性能を持ちながら、低発塵、低アウトガスを実現します
詳しくはこちら
LEARN MORE
セラミック軸受Ceramic Bearings
軸受の材料にセラミックス(窒化けい素)を用い、ふっ素高分子によって潤滑します。おもに真空・腐食性環境などに用います。
詳しくはこちら
LEARN MORE
ウェハ搬送装置WAFER CONVEYANCE DEVICE
ウェハ搬送装置
Wafer Conveyance Device
クリーン環境対応の低発塵、長寿命の薄肉型軸受です
組合せセラミック軸受Hybrid Ceramic Bearings
絶縁、高速用途に転動体の質量が軽くなり、高速回転用途にも適します
詳しくはこちら
learn more
コロガードプロ
ベアリング®-MDCorrosion Resistant Hybrid Ceramic Bearings
塩水、薬液などの環境に耐食性に優れ、クリーン・真空環境にも適応
詳しくはこちら
learn more
Kシリーズ組合せ
セラミック軸受K Series Full Complement Combined Ceramic Bearing
超薄肉形軸受のクリーン仕様
真空用途にも適応します
詳しくはこちら(動画)
LEARN MORE
ウェハ搬送装置用軸受ユニットBearing Unit for Wafer Transfer Equipment
軸受ユニット互換品で装置メンテナンスをサポートします
お問合せ
CONTACT US
クリーン、真空対応のグリース単品、直動各種 Linear Motion Bearings and Grease for Special Environments
EXSEV🄬-EX(グリース)EXSEV🄬-EX (Grease)
低蒸気圧で化学的に安定しているふっ素グリース
パーフルオロオクタン酸(PFOA)フリーで環境負荷の小さいふっ素グリースを提供しています。
詳しくはこちら
learn more
特殊環境用リニア玉軸受Linear Ball Bearing for Special Environments
コンパクトな無限直線運動ベアリング
EXSEVシリーズの素材の構成で様々な特殊環境に対応
詳しくはこちら
learn more
特殊環境用リニアウェイLinear Way for Special Environments
容易に高精度な直線運動が可能
EXSEVシリーズの素材の構成で様々な特殊環境に対応
詳しくはこちら(動画)
LEARN MORE

※「EXSEV(エクゼブ)」「コロガードプロベアリング」「クリーンプロ」はジェイテクトの登録商標です。